有许多消费者可能是真空泵在使用时出现了一些小故障，为了节约成本就会拿去维修，也不管找到的维修商家是否有能力修好该真空泵，只一味的注重价格。真空泵要处于通风位置或者室内装有降温装置也可以，原因也是一样的，只是为了让真空泵的散热性能更好，尽可能的降低真空泵的工作温度。耗材及时更换。其中的又是：油雾分离器（排气滤芯）和油。这两种耗材一定要及时的更换。排气过滤器如果一旦出现报废或者其他质量问题时第yi时间更换！油出现了颜色变色、沉淀物增多、开始出现乳化等现象时不能仅仅停留在加油的保养，要全部更换真空泵油
适用于 Applied Materials 制程平台的 IPUP
IPUP2：紧凑型低能量的 180m3/h 干泵，用于晶圆加工和其他清洁工作应用。它能够 以低能耗快速抽空负载锁定舱室。
IPUP2 小巧轻便，适用于负载锁定 和清洁应用。其低振动和低噪声级的优点使其适合于 在机台上使用或安装在工厂的夹心层中，从而有助于节省宝贵的 工厂地面空间，同时程序地提高泵送性能。环保模式可在 空闲期间降低设备使用率，从而降低使用成本， 有助于保护环境。
适合在 Applied Materials 的制程平台上使用， 可提高处理能力，同时减少能耗。
3 万亿次循环 MTBF
与原始 IPUP? 相比，速度 提高 50%，能耗降低 70%
提供适用于现有 IPUP? 的 插入式替换部件
真空泵维修：确定极限真空度，在确定了工艺要求的真空度的基础上检查真空泵系统的极限真空度，因为系统的极限真空度决定了系统的jia工作真空度。一般来讲，系统的极限真空度比系统的工作真空度低20%，比前级泵的极限真空度低50%。
应用
目标应用包括：
PVD
电介质刻蚀
导体刻蚀
金属刻蚀
植入源
客户也将 iGX 用于一系列 清洁和轻负载应用。
以爱德华真空泵维修来养活自己的企业，所以对于真空泵的了解毫不夸张的说真的是了如指掌，但是除了要给大家介绍些关于真空泵维修的方法之外，我们还应该多向大家普及关于真空泵的相关知识，所以我们这就来跟大家说说“真空泵使用前须符合哪些要求”。
Edwards GXS 干式螺旋真空泵
我们的新型 GXS 干泵将真空性能提高到了一个新水平。
采用的螺旋技术和的驱动，可实现先进的温度控制功能和长的维修间隔，确保未来多年具有佳抽取速度和低运行成本。
敬请放心，Edwards 紧凑并且高度智能的 GXS 系列泵和组合是我们针对工业应用而提供的可靠、经济的真空泵。
螺杆真空泵维修5大常见故障问题：
1.真空泵排气口冒烟
2.真空泵不能启动
3.真空泵噪音超标
4.真空度下降
5.真空泵发烫等现象
事后维修
它是指机械设备发生故障后才进行的维修。它包括查找故障部位、进行修复或更换零部件、调整、验收等一系列技术活动，是一种古老的维修方式，仅适用于安全性、可靠性要求不高的情况。真空泵要处于通风位置或者室内装有降温装置也可以，原因也是一样的，只是为了让真空泵的散热性能更好，尽可能的降低真空泵的工作温度。
