MEMS集成装置尤其是在生物传感器方面，已经成为心率、血压等涉及到身体健康生物信号监测的重要器件，在严苛的环境中膜层防护性要求能具有较好的稳定性是关键。涂覆了派瑞林的工业级传感器，为手术机器人功能提升与柔性电子发展提供重要的技术支撑。
除了健康领域，MEMS柔性传感系统可应用的领域还包括运动行业、可穿戴机械设备、人造皮肤等等。如将柔性压力传感器内置在鞋子中，可以实时检测体重、发力姿势、身体平衡性等；可穿戴设备中的柔性传感器可以感知人的动作和用力情况，协助佩戴者提起重物、快速走动等；集成了柔性触力传感器的人造皮肤，可以用于义肢上，感知佩戴者的动作意图并协助其完成想要的动作。作为纳米涂层材料之一，派瑞林镀膜技术更好的提升了MEMS产品的表面防护性能。
派瑞林（PARYLENE）真空镀膜是真空应用领域的一个重要方面。它以真空技术为基础，采用物理或化学方法，吸收了电子束、分子束、离子束、等离子体束、射频和磁控等一系列新技术，为科学研究和实际生产提供了一种新的薄膜制备工艺。简而言之，金属、合金或化合物在真空中蒸发或溅射，从而可以沉积在被涂覆的物体(称为基底、衬底或基体)上
光学镀膜技术常用的方法是真空溅射镀膜玻璃基片，一般用来控制基片对入射光束的反射率和透过率，以满足不同的需要。为了消除光学零件表面的反射损耗，提高成像质量，涂覆一层或多层透明介质膜，称为减反射膜或减反射膜。
目前，几乎任何材料都可以通过真空镀膜工艺涂覆到其他材料的表面上，这为真空镀膜技术在各种工业领域中的应用开辟了更加广阔的前景。
用真空镀膜技术代替传统的电镀工艺，不但能节省大量的摸材和降低能耗，而且还会消除湿法镀膜中所产生的环境行染。因此国外在钢铁零件涂镀防瘸层和保护源方面，已采用真空搜膜工艺来代替电镀工艺。在冶金工业中，为钢铁和带钢加镀铝防护层已很普遍;在机械制造业中，真空搜膜工艺用于改变改变某些加工工艺和节约贵重的原材料，如飞机浔轮发动机的叶片已经不用价h格昂贵的妤高温金属制造，而是采用价格低廉易加工材料，成形后再用真空被膜的方法在叶片表面上力镀耐高温，耐南蚀的防护层。
