高纯氩气的含义
高纯氩气在半导体工业中用作生产高纯硅和锗晶体的保护气体；可用作系统清洗、屏蔽和增压用惰性气体；在化学气相沉积、溅射和退火等工艺中有所应用。高纯氩气可用作色谱载气，也可用作大规模集成电路中混合气体的稀释气。
在金属冶炼方面，氧、氩吹炼是生产优好钢的重要措施，每炼1t钢的亚气消耗量为1～3立方米。此外，对钛、锆、锗等特殊金属的冶炼，以及电子工业中也需要用亚作保护气。
高纯氩气
液氩是一种惰性气体，对人体没有直接危害。但是，如果工业使用后产生的废气对人体健康非常有害，会造成归肺、眼睛损伤等，虽然是惰性气体，但也是窒息性气体，但大量吸入会导致窒息。生产现场应通风，氩气相关技术人员每年应定期进行职业病体检，以确保其健康。氩气本身不会燃烧，但含有氩气容器和设备的明火的高温会急剧增加内部压力，使其爆裂，并用水冷却灭火容器。
高纯氩气的急求措施和防火措施
液氩的急救措施
1.皮肤接触：液氩会导致在低温所致体表局部损伤，用水冲洗并就医。
2.眼睛接触：打开眼睑，用生理盐水或自来水冲洗，并就医。
3.吸入：将患者移至新鲜空气中，保持呼吸道畅通，呼吸困难时给予氧气，呼吸停止时恢复呼吸，恢复心肺;去看医生。
液氩的防火措施
1.危险特性：氩气本身不会燃烧，但在明火和高温下，含有氩气的容器和设备的压力会急剧升高。
2.火灾中的容器应用水冷却，直至炸裂。
3.灭火方法和灭火剂：在发生火灾时用水冷却容器，使用适用于火灾环境的灭火剂，如果可能，将容器从火中移至空旷处。
