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气体质量流量控制器的密封材料如何选择?
质量流量控制器可以用于控制各种气体, 包括腐蚀性气体和特殊气体, 但是要注意, 对于使用腐蚀性气体和特殊气体, 需要恰当选择型号和密封材料。用户在订货时, 需要向供货厂商特殊声明使用气体, 以免因为选型或选择密封材料错误, 造成严重损失。
通常气体质量流量控制器接触工作气体的湿材料为316L不锈钢、聚四氟乙烯和密封材料等, 密封材料又分为金属密封和橡胶密封两大类。金属密封的材料一般为不锈钢、金或镍等耐腐蚀材料。采用金属密封的MFC原则上可以用于任何气体, 包括各种腐蚀性气体和特种气体。对于三氯化硼、HF等强腐蚀性气体和MOCVD使用的金属氧化物气体建议采用金属密封的MFC。
由于金属密封的MFC价格较高, 通常要求不高的场合, 均采用橡胶密封的MFC。如果不特殊声明, MFC都采用氟橡胶密封, 可以用于大多数酸性和碱性腐蚀性气体, 例如可以用于HCl等卤族干燥气体。其它一些特殊腐蚀性气体, 需要采用特种橡胶。氨气——需要采用耐氨橡胶, 如乙丙橡胶、氯丁橡胶或丁晴橡胶; 溶剂汽氛(C3H6O、C6H5CH3等)——需要采用硅橡胶; 三三氯化硼、HF等——需要采用全氟橡胶。
如何通过质量流量控制器判断没有气体通过?
质量流量控制器(MFC)是用来控制气体流量的,质量流量计(MFM)是用来测量气体流量,如果你需要检测气体流量需要用MFM。 当然MFC还是有检测方法的,如果通过气体流量比较大,压比较大,可以为MFC设定一个大流量,MFC会反馈一个值,这个值就是气体的流量。 如果流量比较小,压力比较小MFC就不能测出来了,因为MFC压损通常是比较大的,如果气体流量比较小,压力比较小就没办法测量了,就需要抵压损的MFM。
气体质量流量控制器特点
利用流体流过发热物体时,发热物体的热量散失多少与流体的流量呈一定的比例关系。该系列流量计的传感器有两只标准级的RTD,一只用来做热源,一只用来测量流体温度,当流体流动时,两者之间的温度差与流量的大小成线性关系,再通过微电子控制技术,将这种关系转换为测量流量信号的线性输出。
采用全新的进口传感技术以及高精度的机械加工技术,能实现微小流量测量和控制,其特点是可靠性高、重复性好,压损小,无可动部件,量程比宽,响应时间较快,测量精度高,无需要温度压力补偿,广泛应用于轻工化工环保及半导体等工业部门的空气、氧气、氮气等气体的检测和控制