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径向误差补偿方法。在PMD1000设备中，显影液是通过安装在腔体上方的喷嘴以扇形喷洒到掩模版上。当掩模版处于低位置时，喷嘴角度被调整到对准掩模版中心。就还原银原子的数目来说，由显影所获得的银原子是曝光时所得到的109~1010倍。在掩模版旋转过程中，掩模版中心一直处于新鲜显影液覆盖范围，因此掩模版中心位置的显影程度会高于周边位置，从而造成中心CD比周边大。如果径向误差分析显示这种情况，需要通过调整掩模版显影高度来对周边进行补偿。
菲尼酮具有优良的显影性能，显影速度较米吐尔快，用量甚少，只相当于米吐尔用量的五分之一到十分之一，每升0.1~0.5克即可，而且它的显影氧化产物是无色的。菲尼副单独显影时，显影能力较弱，一旦与对二酚组合使用时，就表现出极大的超加和性。坚膜剂有：钾锁[A12(S04)3-K2S04-24H20]、铬砚[Cr2(S04)3K2S04-24H20]和甲醛（HCHO)。这二者组合使用的显影液通常称为P-Q显影液。
这类显影液优点是显影速度快，可链带式获得较高的感光度，尤其是影像的暗调层次特别丰富，组成银影的颗粒较细，适宜高倍放大。它在pH值较低的情况下，其显影活性相对比M-Q显影液强，并且受离子的影响小，药液不易变色，使用寿命长。换句话说，显影的目的是将人眼不可见的潜影变成由银（对彩色感光材料来说，还有染料）所组成的影像。菲尼酮的缺点是容易生成灰雾，为了避免这一现象的发生，可适当增加化钾的用量。
促进剂
显影液中如果只有显影剂，是可以完成显影化学反应的，但化学反应速度很慢，并且显影效果不一定理想。一般的显影剂必须在碱性溶液中才有足够的显影能力，而且还能提高显影速变。由于碱能促进显影作用，所以碱就称为促进剂。常用的促进剂有碳酸钠Na,CO，、碳酸钾K2CO，、硼砂Na,B40, 10H,0偏硼酸钠NaBO，NaOH、化钾KOH以及磷酸钠Na,PO，等等。可以使定影液处于酸性状态，不断地中和从显影液中带来的余液而停止显影。化钾均属强促进剂。适用于高反差快速显影液。
在曝光显影工艺中，只有对以上各种公差配合完全掌握，才能简单可靠的做出合格产品。
曝光显影技术优势
1、解决3D曲面玻璃(包含四面曲)印刷难题；
2、图形转印技术单层、多层套印精度高；
3、雾化喷涂确保厚度均一性，提高致密性，降低油墨厚度；
4、采用图形转印技术，良率较高；
5、4-6寸盖板单制程产能优势明显；
6、较薄的油墨利于贴合，提高制程整体良率